บริษัท ฮิตาชิ ไฮเทค (เซี่ยงไฮ้) อินเตอร์เทรด จำกัด
บ้าน>ผลิตภัณฑ์>กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Regulus Series
ข้อมูล บริษัท
  • ระดับการซื้อขาย
    สมาชิกวีไอพี
  • ติดต่อ
  • โทรศัพท์
  • ที่อยู่
    ???? 18 ????????????????? No.5 North Ring Road, East 3rd Road, ???????
ติดต่อเรา
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Regulus Series
รุ่นที่มีอยู่ SU8240, SU8230, SU8220 และ SU8010 ถูกรวมเข้าด้วยกันและได้มาจาก Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100 'Regulus Series' สืบทอ
รายละเอียดสินค้า

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Regulus Series

  • การให้คำปรึกษา
  • การพิมพ์

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

รุ่นที่มีอยู่ SU8240, SU8230, SU8220 และ SU8010 ถูกรวมเข้าด้วยกันและได้มาจาก Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100

'Regulus Series' สืบทอดประสิทธิภาพการสังเกตและวิเคราะห์ของรุ่นที่มีอยู่พร้อมกับปืนอิเล็กทรอนิกส์ยิงสนามที่มีเสียงรบกวนต่ำในซีรีส์ SU8200*1,การไหลของลำแสงที่มีเสถียรภาพสูงสามารถรับได้

โดยการเพิ่มประสิทธิภาพของระบบอิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล Regulus8240/8230/8220 ปรับปรุงความละเอียดเป็น 0.7 นาโนเมตรที่ 1 kV และความละเอียดของ Regulus8100 เพิ่มขึ้นเป็น 0.8 นาโนเมตร

นอกจากนี้การขยายกำลังยังเพิ่มขึ้นจาก 1 ล้านเท่าในอดีตเป็น 2 ล้านเท่าเพื่อความสามารถในการแยกแยะสูงเป็นพิเศษ*1
Regulus8240/8230/8220/8100 ยังปรับปรุงฟังก์ชั่นการสนับสนุนผู้ใช้ผ่านฟังก์ชั่นนี้ผู้ใช้สามารถเข้าใจหลักการตรวจจับของสัญญาณที่ซับซ้อนต่างๆได้ง่ายขึ้นเพื่อช่วยให้ผู้ใช้สามารถใช้ประสิทธิภาพสูงสุดของเครื่องมือได้อย่างเต็มที่

*1
Regulus8240/8230/8220 เท่านั้น

  • คุณสมบัติ

  • สเปค

คุณสมบัติ

  • ยิงปืนอิเล็กทรอนิกส์ตามสนามเย็น 'SU8200 series'*2
  • ใช้พื้นที่ความสว่างสูงและมีเสถียรภาพของลำแสงอิเล็กตรอนที่ปรากฏขึ้นหลังจาก Flashing เป็นช่วงของการสังเกตที่มีเสถียรภาพเพื่อให้ประสิทธิภาพสูงสุดในการสังเกตและวิเคราะห์ความละเอียดสูงภายใต้สภาวะแรงดันเร่งต่ำ
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
  • ใช้ไซโลตัวอย่างสูญญากาศขนาดเล็กที่มีมลพิษสูง
  • การใช้ตัวกรองพลังงาน (ตัวเลือก) อัตราส่วนความคมชัดของส่วนผสมต่างๆสามารถสังเกตได้*2

การสังเกตความแตกต่างสูงที่แรงดันลงจอดต่ำมาก

极低着陆电压下高分辨观察
ตัวอย่าง: เม็ดทอง
แรงดันลงจอด: 10 V

การสังเกตความแตกต่างสูงเป็นพิเศษ

超高分辨观察
ตัวอย่าง: Pt Catalyst
แรงดันเร่ง: 30 kV

การวิเคราะห์ EDX ความละเอียดสูงภายใต้แรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำ

低加速电压下高分辨EDX分析
ตัวอย่าง: บอล Sn
แรงดันลงจอด: 1.5 kV

*2
Regulus8240/8230/8220 เท่านั้น

สเปค

โครงการ Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
ความละเอียดอิเล็กทรอนิกส์ทุติยภูมิ 0.7 nm
(แรงดันไฟฟ้าเร่ง 15 kV)
0.8 nm
(แรงดันไฟฟ้าลงจอด 1 kV)*3
0.6 นาโนเมตร (แรงดันไฟฟ้าเร่ง 15 กิโลโวลต์)
0.7 นาโนเมตร (แรงดันไฟฟ้าลงจอด 1 kV)*3
แรงดันลงจอด 0.1~2 kV 0.01~20 kV
กำลังขยาย 20 ~ 1,000,000 ครั้ง*4 20 ~ 2,000,000 ครั้ง*4
ตารางตัวอย่าง การควบคุมตารางตัวอย่าง โต๊ะมอเตอร์ 3 แกน (ตัวเลือกโต๊ะมอเตอร์ 5 แกน) มอเตอร์ขับเคลื่อน 5 แกน
ช่วงการเคลื่อนที่ X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
การทำซ้ำ เพศ - - - ด้านล่าง± 0.5 μm มี± 0.5 μm
*3
สังเกตในโหมดลดความเร็ว
*4
อัตราการคูณโดยใช้ฟิล์มด้านล่าง 127 มม. × 95 มม. เป็นเกณฑ์มาตรฐาน

การจำแนกประเภทผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

  • ระบบลำแสงไอออนโฟกัส (FIB / FIB-SEM)
  • TEM / SEM ตัวอย่างก่อนการประมวลผลหน่วย
สอบถามออนไลน์
  • ติดต่อ
  • บริษัท
  • โทรศัพท์
  • อีเมล์
  • วีแชท
  • รหัสยืนยัน
  • เนื้อหาข้อความ

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!