กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Regulus Series
รุ่นที่มีอยู่ SU8240, SU8230, SU8220 และ SU8010 ถูกรวมเข้าด้วยกันและได้มาจาก Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100
'Regulus Series' สืบทอดประสิทธิภาพการสังเกตและวิเคราะห์ของรุ่นที่มีอยู่พร้อมกับปืนอิเล็กทรอนิกส์ยิงสนามที่มีเสียงรบกวนต่ำในซีรีส์ SU8200*1,การไหลของลำแสงที่มีเสถียรภาพสูงสามารถรับได้
โดยการเพิ่มประสิทธิภาพของระบบอิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล Regulus8240/8230/8220 ปรับปรุงความละเอียดเป็น 0.7 นาโนเมตรที่ 1 kV และความละเอียดของ Regulus8100 เพิ่มขึ้นเป็น 0.8 นาโนเมตร
นอกจากนี้การขยายกำลังยังเพิ่มขึ้นจาก 1 ล้านเท่าในอดีตเป็น 2 ล้านเท่าเพื่อความสามารถในการแยกแยะสูงเป็นพิเศษ*1。
Regulus8240/8230/8220/8100 ยังปรับปรุงฟังก์ชั่นการสนับสนุนผู้ใช้ผ่านฟังก์ชั่นนี้ผู้ใช้สามารถเข้าใจหลักการตรวจจับของสัญญาณที่ซับซ้อนต่างๆได้ง่ายขึ้นเพื่อช่วยให้ผู้ใช้สามารถใช้ประสิทธิภาพสูงสุดของเครื่องมือได้อย่างเต็มที่
- *1
- Regulus8240/8230/8220 เท่านั้น
-
คุณสมบัติ
-
สเปค
คุณสมบัติ
- ยิงปืนอิเล็กทรอนิกส์ตามสนามเย็น 'SU8200 series'*2
- ใช้พื้นที่ความสว่างสูงและมีเสถียรภาพของลำแสงอิเล็กตรอนที่ปรากฏขึ้นหลังจาก Flashing เป็นช่วงของการสังเกตที่มีเสถียรภาพเพื่อให้ประสิทธิภาพสูงสุดในการสังเกตและวิเคราะห์ความละเอียดสูงภายใต้สภาวะแรงดันเร่งต่ำ
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - ใช้ไซโลตัวอย่างสูญญากาศขนาดเล็กที่มีมลพิษสูง
- การใช้ตัวกรองพลังงาน (ตัวเลือก) อัตราส่วนความคมชัดของส่วนผสมต่างๆสามารถสังเกตได้*2
การสังเกตความแตกต่างสูงที่แรงดันลงจอดต่ำมาก
ตัวอย่าง: เม็ดทอง
แรงดันลงจอด: 10 V
การสังเกตความแตกต่างสูงเป็นพิเศษ
ตัวอย่าง: Pt Catalyst
แรงดันเร่ง: 30 kV
การวิเคราะห์ EDX ความละเอียดสูงภายใต้แรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำ
ตัวอย่าง: บอล Sn
แรงดันลงจอด: 1.5 kV
- *2
- Regulus8240/8230/8220 เท่านั้น
สเปค
โครงการ | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ความละเอียดอิเล็กทรอนิกส์ทุติยภูมิ | 0.7 nm (แรงดันไฟฟ้าเร่ง 15 kV) 0.8 nm (แรงดันไฟฟ้าลงจอด 1 kV)*3 |
0.6 นาโนเมตร (แรงดันไฟฟ้าเร่ง 15 กิโลโวลต์) 0.7 นาโนเมตร (แรงดันไฟฟ้าลงจอด 1 kV)*3 |
|||||
แรงดันลงจอด | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
กำลังขยาย | 20 ~ 1,000,000 ครั้ง*4 | 20 ~ 2,000,000 ครั้ง*4 | |||||
ตารางตัวอย่าง | การควบคุมตารางตัวอย่าง | โต๊ะมอเตอร์ 3 แกน (ตัวเลือกโต๊ะมอเตอร์ 5 แกน) | มอเตอร์ขับเคลื่อน 5 แกน | ||||
ช่วงการเคลื่อนที่ | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
การทำซ้ำ เพศ | - | - | - | ด้านล่าง± 0.5 μm มี± 0.5 μm |
- *3
- สังเกตในโหมดลดความเร็ว
- *4
- อัตราการคูณโดยใช้ฟิล์มด้านล่าง 127 มม. × 95 มม. เป็นเกณฑ์มาตรฐาน
การจำแนกประเภทผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
- ระบบลำแสงไอออนโฟกัส (FIB / FIB-SEM)
- TEM / SEM ตัวอย่างก่อนการประมวลผลหน่วย