ระบบ CVD ประกอบด้วยระบบจ่ายอากาศ + เตาหลอด + ระบบสกัดก๊าซอุณหภูมิสูงสุดสามารถเข้าถึง 1200 องศา, 1400 องศา, 1600 องศา, 1700 องศา, ช่วงความร้อนสามารถเป็นโซนอุณหภูมิเดียว, โซนอุณหภูมิคู่, โซนอุณหภูมิสามและอื่น ๆ สูญญากาศ จำกัด สามารถเข้าถึง 10-3Pa ระบบจ่ายอากาศคือการควบคุมการไหลสามารถเป็นเครื่องวัดการไหลของโปรตอนหรือเครื่องวัดการไหลของลอยและจำนวนเส้นทางการผสมสามารถเป็น 2, 3, 4, 5 เฟสผสม

ระบบ CVD นี้ประกอบด้วยระบบจ่ายอากาศ 4 ทาง KTL1600 Tube Furnace + Vacuum System

(1) ความหยาบปลายร้อนของแท่งซิลิคอนโมลิบดีนัม D1 คือ 7 มม. ผู้ผลิตทั่วไปใช้ 6 มม. ปลายความร้อนหยาบไม่ง่ายที่จะโค้งงอโหลดพื้นผิวของแกนต่ำและอายุการใช้งานยาวนาน

（2) ใช้เทคโนโลยีดัดร้อนความต้านทานสม่ำเสมออายุการใช้งานยาวนาน

(3) ความยาวปลายเย็น Lu คือ 210 มม. เตา 400X300X300 คือ 260 มม. ผู้ผลิตทั่วไปใช้ 180 มม. ปลายยาวเย็นอุณหภูมิด้านบนเตาต่ำ

(4) ซิลิคอนโมลิบดีนัมแท่งมีความหนาแน่นของฟิล์มอสัณฐานออกซิไดซ์บนพื้นผิวและสามารถป้องกันซิลิคอนโมลิบดีนัมได้ดี

การประชุมที่ว่างเปล่าจะถูกตัดการเชื่อมต่อโดยอัตโนมัติเมื่อวงจรเกินหรือรั่วไหล

เตาหลอดบรรยากาศใช้ได้ด้วยอินเทอร์เฟซการสื่อสารและซอฟต์แวร์สามารถควบคุมพารามิเตอร์ต่างๆของเตาได้โดยตรงผ่านคอมพิวเตอร์และสามารถสังเกตได้จากเครื่องคอมพิวเตอร์ของค่าอุณหภูมิ PV และ SV บนเตาและการทำงานของมิเตอร์ คอมพิวเตอร์เส้นโค้งอุณหภูมิที่แท้จริงของเตาจะวาดภาพแบบเรียลไทม์และสามารถเก็บข้อมูลอุณหภูมิของแต่ละช่วงเวลาได้ตลอดเวลาสามารถดึงออก

(1) ที่มีคุณภาพสูงและความบริสุทธิ์สูงอลูมิเนียมออกไซด์ polycrystalline ไฟเบอร์บ่มเตาเผาโดยการดูดสูญญากาศและการกรอง
(2) ขึ้นรูปด้วยเทคโนโลยีญี่ปุ่น
(3) ความจุความร้อนต่ำของวัสดุเตาสัมประสิทธิ์การนำความร้อนต่ำดังนั้นการกระจายความร้อนน้อยลงการเก็บรักษาความร้อนที่ดีและการสะท้อนแสงสูง สมดุลของสนามอุณหภูมิ
(4) ลวดอลูมิเนียมออกไซด์ในเตาเผาละเอียดและยาวทนต่ออุณหภูมิสูงทนต่อความร้อนและความสามารถในการหดตัวที่แข็งแกร่ง
(5) พื้นผิวของเตาเผามีความสะอาดและไม่ง่ายที่จะวางผง

(เครื่องใช้ไฟฟ้านำเข้าที่ได้รับการรับรองจาก UL)

การใช้เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรมอวกาศ (มาตรฐาน)

1, 30 ส่วนการควบคุมอุณหภูมิโปรแกรมปรับ PID อัจฉริยะ

2, มีการป้องกันมากกว่าอุณหภูมิป้องกันการแบ่งคู่ป้องกันมากกว่าอุณหภูมิหรือการแบ่งคู่วงจรความร้อนของเตาไฟฟ้าจะถูกตัดออกโดยอัตโนมัติ, (เมื่ออุณหภูมิของเตาไฟฟ้าเกิน 1200 องศาหรือเทอร์โมคัปเปิลถูกเผา, รีเลย์ AC บนวงจรหลักจะถูกตัดออกโดยอัตโนมัติ, วงจรหลักจะถูกตัดการเชื่อมต่อ, ไฟ ON บนแผงออก, ไฟ OFF สว่าง, เตาป้องกันที่ จำกัด )

3 ด้วยอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานเมื่อเลือกซื้อซอฟต์แวร์)

4 มีฟังก์ชั่นป้องกันการปิดเครื่องนั่นคือหลังจากปิดเครื่องแล้วให้อาหารเริ่มต้นเตาโปรแกรมไม่ได้เริ่มต้นจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่จากอุณหภูมิเตาเริ่มเพิ่มขึ้นเมื่อปิดเครื่อง

5, เมตรมีฟังก์ชั่นของการปรับตัวเองอุณหภูมิ