เครื่องมือควบคุมความหนาของฟิล์ม
คุณสมบัติทางเทคนิค:
1. การดำเนินงานหน้าจอสัมผัสเต็มรูปแบบง่ายและใช้งานง่าย
2.32สายเมมเบรนแต่ละเส้น50/100ชั้นเคลือบอัตโนมัติ
3. 12อินพุตสัญญาณถนน/12เอาท์พุทปริมาณสวิทช์ถนน;
4. มีโหมดควบคุมอัตโนมัติกึ่งอัตโนมัติด้วยตนเอง;
5.สามารถควบคุมได้2แหล่งหนึ่งชุดทำงานอีกชุดหนึ่งก่อนละลาย
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
|
ตัวควบคุม CY-FDC-S |
ความถี่การสั่นสะเทือน |
6MHz (คริสตัล 2.5M 3M 5M 9M เป็นตัวเลือก) |
แสดงวิธี |
5 "หน้าจอสัมผัสสี + หลอดดิจิตอลอัตราการแสดงผลและความหนาทึบ |
โหมดการทำงาน |
หน้าจอสัมผัส |
ความหนาสุดท้าย |
00μ0000Å-99μ9999Å |
ความหนา ความละเอียดการแสดงผล |
1Å/s |
อัตราความละเอียดการแสดงผล |
0.1Å/s |
จำนวนชั้นเคลือบ |
32 ฟิล์มผูก 50/100 ชั้นต่อฟิล์ม; |
จำนวนโพรบ |
A B |
ปัจจัยเครื่องมือ |
0.01-99.99 |
แสดงเวลา |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
จอแสดงผลพลังงาน |
0~99.9% |
พลังงานก่อนฟิวชั่น |
0~99% |
พลังงานก่อนชุบ |
0~99.9% |
เวลาละลายล่วงหน้า / เวลาชุบล่วงหน้า |
0~99:99 m:s |
เวลาฉนวนก่อนหลอม / เวลาฉนวนก่อนชุบ |
0~99:99 m:s |
อัตราการชุบ (อัตราการตั้งค่า) |
0~999.9Å/s |
การจัดเก็บวัสดุ |
257+ ปรับแต่ง 10 ชนิด |
การสื่อสาร |
RS232/RS485 |
แหล่งกำเนิดไอน้ำที่ควบคุมได้ |
2 ชิ้นสามารถทำงานหนึ่งชุดอีกชุดหนึ่งก่อนละลาย |
การควบคุมการส่งออก |
±10V/5V/2.5V |
I / อินเตอร์เฟซ |
อินพุตสัญญาณ 12 ช่อง / เอาต์พุตปริมาณการสลับ 12 ช่อง |
ปริมาณของเบ้าหลอมที่ควบคุมได้ |
1-16 ชิ้น |
จอแสดงผลเคลือบ |
เส้นโค้งอัตรา / ค่าตัวเลข |
จำนวนการท่องเที่ยวเคลือบ |
50/100 ชั้นอัตโนมัติต่อฟิล์มผูก |
ขนาดตัวถัง |
480 × 280 × 89 มม. (ตัวเครื่อง 2U 19 ") |
คุณสมบัติพิเศษ:
1, คู่มือ, กึ่งอัตโนมัติ, อัตโนมัติ3ชนิดของโหมดการเคลือบเพื่อตอบสนองความหลากหลายของการกำหนดค่าเครื่องเคลือบ;
2,การเคลือบหยุดด้วยตนเอง: การยุติการเคลือบด้วยตนเองในกระบวนการเคลือบ;
3การควบคุมด้วยตนเอง: กำหนดความต้องการของกระบวนการเคลือบครั้งแรก
4, ขัดจังหวะระบบฟิล์ม: โดยอัตโนมัติและกึ่งอัตโนมัติการเคลือบพบปัญหาหรือความผิดปกติสามารถหยุดการเคลือบและสามารถบันทึกสถานะปัจจุบันโดยอัตโนมัติหลังจากที่ความล้มเหลว ** การเคลือบสามารถดำเนินการต่อจากการขัดจังหวะระบบฟิล์ม;
5เมื่อเคลือบอัตโนมัติหรือกึ่งอัตโนมัติเช่นความล้มเหลวของการสั่นสะเทือนสามารถเลือกที่จะเคลือบโดยการสิ้นสุดการเคลือบตามเวลาพลังงานปัจจุบันเปลี่ยนแผ่นเวเฟอร์เพื่อดำเนินการต่อ (หัววัดแบบหลายเวเฟอร์);
6, สองแหล่งที่มาพร้อมกันก่อนหลอม: กระบวนการเริ่มต้นของการเคลือบชั้นปัจจุบันสามารถเลือกคู่ขนานได้2ชั้นจะถูกหลอมรวมเพื่อตอบสนองสถานการณ์ที่ต้องการเวลาแน่น
7การป้องกันด้วยรหัสผ่าน: ฟังก์ชันการป้องกันด้วยรหัสผ่านของพารามิเตอร์เมมเบรนและชั้นฟิล์มเพื่อป้องกันพารามิเตอร์กระบวนการจากการแก้ไขโดยบุคลากรที่ไม่ใช่ฝีมือ
8, บันทึกข้อมูลการเคลือบ: เมื่อเคลือบอัตโนมัติหรือกึ่งอัตโนมัติระบบสามารถบันทึกเวลาในการขึ้นรูปฟิล์ม * พารามิเตอร์อัตราความหนาสุดท้ายของแต่ละชั้นของฟิล์ม