เจิ้งโจว Chengyue วิทยาศาสตร์ตราสาร จำกัด
บ้าน>ผลิตภัณฑ์>เครื่องมือควบคุมความหนาของฟิล์ม
ข้อมูล บริษัท
  • ระดับการซื้อขาย
    สมาชิกวีไอพี
  • ติดต่อ
  • โทรศัพท์
    13837189935
  • ที่อยู่
    401, ???? 4, ????? 5, ???????? Yida ??????????????????, ??? Jindao, ????????????????
ติดต่อเรา
เครื่องมือควบคุมความหนาของฟิล์ม
แนะนำสั้น ๆ: CY-FDC-S เครื่องมือควบคุมความหนาของฟิล์มเหมาะสำหรับการเคลือบลำแสงอิเล็กตรอน, แมกนีตรอนสปัตเตอร์, การระเหยความร้อนความต้านทานและโอกาสการคว
รายละเอียดสินค้า
บทนำรายละเอียด:

เครื่องมือควบคุมความหนาของฟิล์ม

คุณสมบัติทางเทคนิค:

1. การดำเนินงานหน้าจอสัมผัสเต็มรูปแบบง่ายและใช้งานง่าย

2.32สายเมมเบรนแต่ละเส้น50/100ชั้นเคลือบอัตโนมัติ

3. 12อินพุตสัญญาณถนน/12เอาท์พุทปริมาณสวิทช์ถนน;

4. มีโหมดควบคุมอัตโนมัติกึ่งอัตโนมัติด้วยตนเอง;

5.สามารถควบคุมได้2แหล่งหนึ่งชุดทำงานอีกชุดหนึ่งก่อนละลาย


พารามิเตอร์ทางเทคนิค

ตัวควบคุม CY-FDC-S

ความถี่การสั่นสะเทือน

6MHz (คริสตัล 2.5M 3M 5M 9M เป็นตัวเลือก)

แสดงวิธี

5 "หน้าจอสัมผัสสี + หลอดดิจิตอลอัตราการแสดงผลและความหนาทึบ

โหมดการทำงาน

หน้าจอสัมผัส

ความหนาสุดท้าย

00μ0000Å-99μ9999Å

ความหนา ความละเอียดการแสดงผล

1Å/s

อัตราความละเอียดการแสดงผล

0.1Å/s

จำนวนชั้นเคลือบ

32 ฟิล์มผูก 50/100 ชั้นต่อฟิล์ม;

จำนวนโพรบ

A B

ปัจจัยเครื่องมือ

0.01-99.99

แสดงเวลา

00:00:00-23:59:59 H:M:S

จอแสดงผลพลังงาน

0~99.9%

พลังงานก่อนฟิวชั่น

0~99%

พลังงานก่อนชุบ

0~99.9%

เวลาละลายล่วงหน้า / เวลาชุบล่วงหน้า

0~99:99 m:s

เวลาฉนวนก่อนหลอม

/ เวลาฉนวนก่อนชุบ

0~99:99 m:s

อัตราการชุบ (อัตราการตั้งค่า)

0~999.9Å/s

การจัดเก็บวัสดุ

257+ ปรับแต่ง 10 ชนิด

การสื่อสาร

RS232/RS485

แหล่งกำเนิดไอน้ำที่ควบคุมได้

2 ชิ้นสามารถทำงานหนึ่งชุดอีกชุดหนึ่งก่อนละลาย

การควบคุมการส่งออก

±10V/5V/2.5V

I / อินเตอร์เฟซ

อินพุตสัญญาณ 12 ช่อง / เอาต์พุตปริมาณการสลับ 12 ช่อง

ปริมาณของเบ้าหลอมที่ควบคุมได้

1-16 ชิ้น

จอแสดงผลเคลือบ

เส้นโค้งอัตรา / ค่าตัวเลข

จำนวนการท่องเที่ยวเคลือบ

50/100 ชั้นอัตโนมัติต่อฟิล์มผูก

ขนาดตัวถัง

480 × 280 × 89 มม. (ตัวเครื่อง 2U 19 ")


คุณสมบัติพิเศษ:

1, คู่มือ, กึ่งอัตโนมัติ, อัตโนมัติ3ชนิดของโหมดการเคลือบเพื่อตอบสนองความหลากหลายของการกำหนดค่าเครื่องเคลือบ;

2,การเคลือบหยุดด้วยตนเอง: การยุติการเคลือบด้วยตนเองในกระบวนการเคลือบ;

3การควบคุมด้วยตนเอง: กำหนดความต้องการของกระบวนการเคลือบครั้งแรก

4, ขัดจังหวะระบบฟิล์ม: โดยอัตโนมัติและกึ่งอัตโนมัติการเคลือบพบปัญหาหรือความผิดปกติสามารถหยุดการเคลือบและสามารถบันทึกสถานะปัจจุบันโดยอัตโนมัติหลังจากที่ความล้มเหลว ** การเคลือบสามารถดำเนินการต่อจากการขัดจังหวะระบบฟิล์ม;

5เมื่อเคลือบอัตโนมัติหรือกึ่งอัตโนมัติเช่นความล้มเหลวของการสั่นสะเทือนสามารถเลือกที่จะเคลือบโดยการสิ้นสุดการเคลือบตามเวลาพลังงานปัจจุบันเปลี่ยนแผ่นเวเฟอร์เพื่อดำเนินการต่อ (หัววัดแบบหลายเวเฟอร์);

6, สองแหล่งที่มาพร้อมกันก่อนหลอม: กระบวนการเริ่มต้นของการเคลือบชั้นปัจจุบันสามารถเลือกคู่ขนานได้2ชั้นจะถูกหลอมรวมเพื่อตอบสนองสถานการณ์ที่ต้องการเวลาแน่น

7การป้องกันด้วยรหัสผ่าน: ฟังก์ชันการป้องกันด้วยรหัสผ่านของพารามิเตอร์เมมเบรนและชั้นฟิล์มเพื่อป้องกันพารามิเตอร์กระบวนการจากการแก้ไขโดยบุคลากรที่ไม่ใช่ฝีมือ

8, บันทึกข้อมูลการเคลือบ: เมื่อเคลือบอัตโนมัติหรือกึ่งอัตโนมัติระบบสามารถบันทึกเวลาในการขึ้นรูปฟิล์ม * พารามิเตอร์อัตราความหนาสุดท้ายของแต่ละชั้นของฟิล์ม



สอบถามออนไลน์
  • ติดต่อ
  • บริษัท
  • โทรศัพท์
  • อีเมล์
  • วีแชท
  • รหัสยืนยัน
  • เนื้อหาข้อความ

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!